80% ٹنگسٹن سپٹرنگ ہدف کی تیاری
سپٹرنگ ٹارگٹ ایپلی کیشن:
وہ رجحان جس میں چارج شدہ ذرات (جیسے آرگن آئن) کسی ٹھوس سطح پر بمباری کرتے ہیں، جس کی وجہ سے سطح پر موجود مختلف ذرات، جیسے ایٹم، مالیکیول یا جھرمٹ آبجیکٹ کی سطح سے فرار ہو جاتے ہیں، اسے "سپٹرنگ" کہا جاتا ہے۔ میگنیٹرون اسپٹرنگ کوٹنگ میں، آرگن گیس آئنائزیشن سے پیدا ہونے والے مثبت آئنوں کو عام طور پر ٹھوس (ٹارگٹ) پر بمباری کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، اور پھٹے ہوئے غیر جانبدار ایٹموں کو فلم کی تہہ بنانے کے لیے سبسٹریٹ (ورک پیس) پر جمع کیا جاتا ہے۔ Magnetron sputtering کوٹنگ ہے " اس کی دو بڑی خصوصیات ہیں: "کم درجہ حرارت" اور "تیز"۔
80% ٹنگسٹن سپٹرنگ ٹارگٹ فیکٹپری۔
میگنیٹران سپٹرنگ اصول:
ایک آرتھوگونل مقناطیسی میدان اور الیکٹرک فیلڈ کو سپٹرڈ ٹارگٹ (کیتھوڈ) اور اینوڈ کے درمیان شامل کیا جاتا ہے، اور ہائی ویکیوم چیمبر میں مطلوبہ انارٹ گیس (عام طور پر آر گیس) بھری جاتی ہے۔ مستقل مقناطیس ہدف والے مواد کی سطح پر 250 سے 350 ڈگری کا زاویہ بناتا ہے۔ گاوسی مقناطیسی میدان اور ہائی وولٹیج الیکٹرک فیلڈ ایک آرتھوگونل برقی مقناطیسی میدان بناتے ہیں۔
برقی میدان کے عمل کے تحت، آر گیس کو مثبت آئنوں اور الیکٹرانوں میں آئنائز کیا جاتا ہے۔ ہدف پر ایک خاص منفی ہائی وولٹیج کا اطلاق ہوتا ہے۔ ہدف سے خارج ہونے والے الیکٹران مقناطیسی میدان سے متاثر ہوتے ہیں اور کام کرنے والی گیس کی آئنائزیشن کا امکان بڑھ جاتا ہے۔ کیتھوڈ کے قریب ایک اعلی کثافت پلازما بنتا ہے۔ آر آئنز لورینٹز فورس کے عمل کے تحت ہدف کی سطح کی طرف تیز ہوتے ہیں اور ہدف کی سطح پر بہت تیز رفتاری سے بمباری کرتے ہیں، جس کی وجہ سے ہدف پر پھٹے ہوئے ایٹم رفتار کی تبدیلی کے اصول پر عمل پیرا ہوتے ہیں۔ اعلی حرکی توانائی ہدف کی سطح کو چھوڑ دیتی ہے اور فلم جمع کرنے کے لیے سبسٹریٹ کی طرف اڑ جاتی ہے۔
99.95% ٹنگسٹن سپٹرنگ ٹارگٹس
میگنیٹران سپٹرنگ کو عام طور پر دو اقسام میں تقسیم کیا جاتا ہے: ڈی سی سپٹرنگ اور ریڈیو فریکوئنسی سپٹرنگ۔ ڈی سی سپٹرنگ آلات کا اصول آسان ہے، اور دھات کو پھوڑنے پر اس کی رفتار بھی تیز ہوتی ہے۔ ریڈیو فریکوئنسی سپٹرنگ میں ایپلی کیشنز کی ایک وسیع رینج ہے۔ کنڈکٹیو مواد کو پھوڑنے کے علاوہ، یہ نان کنڈکٹیو مواد کو بھی پھوڑ سکتا ہے۔ یہ مرکب مواد جیسے آکسائڈز، نائٹرائڈز اور کاربائیڈز کو تیار کرنے کے لیے رد عمل کا عمل بھی انجام دے سکتا ہے۔ اگر ریڈیو فریکوئنسی کی تعدد کو بڑھایا جائے تو یہ مائکروویو پلازما سپٹرنگ بن جاتا ہے۔ فی الحال، الیکٹران سائکلوٹرون ریزوننس (ECR) قسم کا مائکروویو پلازما سپٹرنگ عام طور پر استعمال ہوتا ہے۔
